干式螺桿真空泵是干式泵系列之一。所謂的干式真空泵，在泵的泵流道中，不能使用任何油和液體，排氣口與大氣相連，可以直接連續排放到大氣中。干式真空泵在泵中沒有液體工作介質或密封介質，從根本上解決了油封真空泵引起的各種問題。

干式螺桿真空泵出現于20世紀90年代初。由于其抽速范圍廣、結構簡單緊湊、泵腔無摩擦元件、能耗低、無廢液排放、運行成本低等一系列優點，廣泛應用于半導體、光伏工業、化工、醫藥、石化、空間模擬、低壓風洞等領域。

干式螺桿真空泵是由一對同步齒輪驅動的反向旋轉螺釘。螺釘和螺釘之間，螺釘和泵腔之間有一定的間隙，金屬和金屬之間沒有任何接觸。因此，在旋轉過程中，螺釘將從進氣口吸入并排放到排氣口。根據螺桿類型，干式螺桿真空泵可分為等螺距和可變螺距，可變螺距可分為兩種類型：不同尺寸的螺距和螺距的連續變化。

從左到右：等螺距，變螺距(二段拼成)，螺距連續變化(整體)不同的螺桿設計。

干式螺桿真空泵零件少，無易損件，運行可靠，使用壽命長，操作維護方便；

由于采用變螺距結構，比等螺距螺桿可節省30%的能耗，排氣溫度較低；

干式螺桿真空泵無不平衡慣性力，機器運行平穩高速，噪音低；

具有強制輸氣的特點，在寬壓范圍內可保持較高的抽速，排氣量幾乎不受排氣壓力的影響；

由于干螺桿真空泵轉子齒表面之間有一個小間隙，可以去除腐蝕性、有毒、含有灰塵、冷凝蒸汽等氣體，小顆粒不易積聚，泵腔內的殘留物也容易去除；